중소벤처기업부 차관은 장관을 보좌하는 직위로, 정무직공무원으로 보한다.
- 중소벤처기업부 차관은 장관을 보좌하여 소관사무를 처리하고 소속공무원을 지휘·감독하며, 장관이 사고로 직무를 수행할 수 없으면 그 직무를 대행한다.
| 정부 | 대수 | 이름 | 임기 | 비고 |
| 제4공화국 | 초대 | 김찬동(金燦東) | 1973년 1월 20일~1974년 2월 12일 | |
| 2대 | 최종명(崔鍾明) | 1974년 2월 12일~1974년 4월 29일 | |
| 3대 | 안영철(安永哲) | 1974년 4월 29일~1974년 7월 13일 | |
| 4대 | 이상섭(李相燮) | 1974년 7월 13일~1976년 2월 27일 | |
| 5대 | 정민길(鄭旼吉) | 1976년 2월 27일~1978년 5월 22일 | |
| 6대 | 이광덕(李光德) | 1978년 5월 22일~1978년 12월 29일 | |
| 7대 | 한재열(韓在烈) | 1978년 12월 29일~1980년 12월 4일 | |
| 8대 | 이광근(李匡根) | 1980년 12월 4일~1983년 12월 19일 | |
| 제5공화국 |
| 9대 | 이동훈(李東勲) | 1983년 12월 19일~1988년 3월 4일 | |
| 노태우 정부 | 10대 | 전계묵(全啓默) | 1988년 3월 21일~1990년 4월 16일 | |
| 11대 | 박영대(朴榮大) | 1990년 4월 16일~1992년 5월 23일 | |
| 12대 | 정수웅(鄭秀雄) | 1992년 5월 23일~1993년 6월 3일 | |
| 김영삼 정부 | 13대 | 이동규(李東圭) | 1993년 6월 3일~1995년 1월 3일 | |
| 14대 | 최홍건(崔弘健) | 1995년 1월 3일~1996년 2월 8일 | |
| 정부 | 대수 | 이름 | 임기 | 비고 |
| 김영삼 정부 | 14대 | 최홍건(崔弘健) | 1996년 2월 9일~1997년 1월 3일 | |
| 15대 | 김효성(金孝成) | 1997년 1월 3일~1997년 5월 8일 | |
| 16대 | 이원호(李源浩) | 1997년 5월 8일~1997년 9월 26일 | |
| 17대 | 오영교(吳盈敎) | 1997년 9월 26일~1998년 9월 1일 | |
| 김대중 정부 |
| 18대 | 신동오(申東午) | 1998년 9월 1일~2001년 11월 17일 | |
| 19대 | 장지종(張志鍾) | 2001년 11월 17일~2003년 5월 7일 | |
| 노무현 정부 | 20대 | 허범도((許範道) | 2003년 5월 7일~2004년 8월 19일 | |
| 21대 | 정준석(鄭俊石) | 2004년 8월 19일~2005년 8월 16일 | |
| 22대 | 이승훈(李承勳) | 2005년 8월 16일~2006년 10월 8일 | |
| 23대 | 이기우(李基雨) | 2006년 10월 8일~2007년 2월 21일 | |
| 24대 | 나도성(羅道成) | 2007년 2월 21일~2008년 4월 14일 | |
| 이명박 정부 | 25대 | 송재희(宋在希) | 2008년 4월 15일~2009년 5월 22일 | |
| 26대 | 정영태(鄭榮泰) | 2009년 5월 22일~2011년 3월 7일 | |
| 27대 | 임충식(任忠植) | 2011년 3월 7일~2012년 2월 13일 | |
| 28대 | 김순철(金淳哲) | 2012년 2월 13일~2014년 9월 11일 | |
| 박근혜 정부 |
| 29대 | 최수규(崔壽圭) | 2014년 9월 12일~2017년 1월 19일 | |
| 30대 | 정윤모(鄭允模) | 2017년 1월 20일~2017년 7월 25일 | |
| 정부 | 대수 | 이름 | 임기 | 비고 |
| 문재인 정부 | 초대 | 최수규(崔壽圭) | 2017년 7월 26일~2018년 12월 14일 | |
| 2대 | 김학도(金學道) | 2018년 12월 15일~2020년 3월 22일 |
| 3대 | 강성천(姜聲千) | 2020년 3월 23일~2022년 5월 10일 | |
| 윤석열 정부 | 4대 | 조주현(曺株鉉) | 2022년 5월 10일~2023년 7월 2일 | |
| 5대 | 오기웅(吳起雄) | 2023년 7월 3일 ~ 2024년 7월 21일 | |
| 6대 | 김성섭(金盛燮) | 2024년 7월 22일 ~ | |
