A 36 nm pitch horizontal two-bar structure exhibits significant CD difference (between upper and lower bar as a function of focus. This has been attributed to the shadowing effect of the EUV illumination. Ref.: V. Philipsen et al., Proc. SPIE vol. 10143, 1014310 (2017).
Этот график желательно воссоздать или аккуратно преобразовать в векторный формат SVG. Это даёт несколько преимуществ, прочитать о которых подробнее вы можете на странице Commons:Media for cleanup. Если вам уже сейчас доступна векторная версия данного изображения, загрузите её, пожалуйста, а затем замените этот шаблон на следующий: {{Vector version available|Имя загруженного файла.svg}}.
Лицензирование
Guiding light из английский Википедия, владелец авторских прав на это произведение, добровольно публикует его на условиях следующих лицензий:
Разрешается копировать, распространять и/или изменять этот документ в соответствии с условиями GNU Free Documentation License версии 1.2 или более поздней, опубликованной Фондом свободного программного обеспечения, без неизменяемых разделов, без текстов, помещаемых на первой и последней обложке. Копия лицензии включена в раздел, озаглавленный GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
делиться произведением – копировать, распространять и передавать данное произведение
создавать производные – переделывать данное произведение
При соблюдении следующих условий:
атрибуция – Вы должны указать авторство, предоставить ссылку на лицензию и указать, внёс ли автор какие-либо изменения. Это можно сделать любым разумным способом, но не создавая впечатление, что лицензиат поддерживает вас или использование вами данного произведения.
распространение на тех же условиях – Если вы изменяете, преобразуете или создаёте иное произведение на основе данного, то обязаны использовать лицензию исходного произведения или лицензию, совместимую с исходной.
Файл содержит дополнительные данные, обычно добавляемые цифровыми камерами или сканерами. Если файл после создания редактировался, то некоторые параметры могут не соответствовать текущему изображению.