スパッタ ウィキペディアから無料の百科事典 スパッタ スパッタ(sputter) - 金属表面に高エネルギー粒子を当てると金属表面から原子が飛び出すこと。スパッタリングを参照。真空中にアルゴン(Ar)などのガスを低圧力で導入してグロー放電させ、プラズマを発生させて、このプラズマのターゲットへの衝突で原子を蒸発させガラス基板などに成膜する技術。 スパッタ(spatter) - ガス溶接、アーク溶接時に飛散する微粒子。粒径は、約1μm〜数mm。塗装欠陥などの原因になり品質に悪影響を与える。 このページは曖昧さ回避のためのページです。一つの語句が複数の意味・職能を有する場合の水先案内のために、異なる用法を一覧にしてあります。お探しの用語に一番近い記事を選んで下さい。このページへリンクしているページを見つけたら、リンクを適切な項目に張り替えて下さい。